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有机胺系列清洗剂
适用于半导体后段以及先进封装清洗工艺,对特别严重的副产物有良好的清洗效果,对残留的光刻胶的清洗亦有优良的结果。
优点:温度窗口大,对基材的损伤小,特别适用于铝互联工艺的清洗,槽液寿命长。



水基系列清洗剂
适用于绝大部分半导体后段以及先进封装清洗工艺,同时能满足槽式和单片式清洗设备要求。
优点:操作温度低,清洗时间短,可直接用水漂洗,适用成本较低,槽液寿命长。


Category DCL100 DCL200 Competitor
Application Post dry ash stripper Post dry ash stripper Post dry ash stripper
PH Value 10~11 7~8 10~11
Chemical Base amine base Water-based Hydroxylamine (HDA) based
Hydroxylamine (HDA) based HDA Free F based HDA Contained
PR solvability solvable non-solvable non-solvable
Operating temperature 60-90℃ RT~35℃ 65-75℃
Total stripping time 10-30min 0.5-10min 10-30min
Rinse NMP + DI Water Rinse Direct DI Water Rinse NMP + DI Water Rinse
Bath Life ≥ 3days* ~2days* ~50h